被試験デバイスの検査システム、及びその操作方法
- 专利权人:
- 新東工業株式会社
- 发明人:
- 瀧田 伸幸,浜田 貴之,坂本 陽一,石川 修次
- 申请号：
- JP20150524536
- 公开号：
- JPWO2015137023(A1)
- 申请日:
- 2015.02.05
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 被試験デバイスの検査システムにおいて、被試験デバイスとダイオードとを載置したステージが、静特性試験ステーションと動特性試験ステーションとに移動する。被試験デバイスの検査システムの操作方法は、被試験デバイスとダイオードとを載置したステージを搬入及び載置する工程と、被試験デバイスを試験ステーションに搬入及び固定する工程と、ダイオードにプローブを接触する工程と、ダイオードの位置を切り替える工程と、被試験デバイスを測定する工程と、被試験デバイスをステージから搬出する工程と、被試験デバイスを選別する工程と、を備える。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
