A silicon tube structure having a certain dimensional accuracy is formed. In one embodiment, the silicone tube structure includes an extruded hollow body having an inner bore. The extruded hollow body has an inner diameter, an outer diameter, and a length of at least about 20 m. The extruded hollow body also has dimensional accuracy, which is measured at an inner diameter standard deviation of about 0.8% or less of the extruded hollow body average inner diameter along its length. In an embodiment, the silicon tube structure is cut into a plurality of silicon tubes.특정 치수 정밀도를 가지는 실리콘 튜브 구조체가 형성된다. 하나의 실시태양에서, 실리콘 튜브 구조체는 내부 보어를 가지는 압출 중공 몸체를 포함한다. 압출 중공 몸체는 내경, 외경, 및 적어도 대략 20 m의 길이를 가진다. 또한 압출 중공 몸체는 치수 정밀도를 가지며, 이는 내경 표준편차가 길이를 따라 압출 중공 몸체 평균 내경의 대략 0.8% 이하로 측정된다. 실시태양에서, 실리콘 튜브 구조체는 다수의 실리콘 튜브들로 절단된다.
