PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that it is required to reduce an eddy current induced in a magnetic pole, because an eddy current resulting from the time variation of a magnetic field is induced in a vacuum duct or a magnetic pole, and thereby the position of a beam irradiated is changed, and that the eddy current thus induced increases, especially, in the end magnetic pole, because the magnetic field is generated in a direction perpendicular to a laminated steel plate.SOLUTION: A deflection electromagnet 100 includes a pair of magnetic poles 110 disposed to face each other so that a gap 120 for passing an ion beam is provided, a pair of yokes 130 bonded to the magnetic poles 110 and defining a magnetic path, and a coil 140 wound around the magnetic poles 110. The magnetic pole 110 has a layer shape formed by laminating electrical steel sheets, and bonding the surface of the magnetic poles 110 facing the gap 120 and the surface of the magnetic poles 110 facing outside thereof in the orbital direction of the ion beam.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】磁場の時間変化に起因する渦電流が真空ダクトや磁極に誘導され、その影響で照射されるビームの位置が変化するため、磁極内に誘導される渦電流を小さくする必要がある。特に端部磁極では磁場が積層鋼板に対して垂直な方向に生じるため、誘導される渦電流が大きくなる。【解決手段】イオンビームが通過するためのギャップ120を設ける様に対向して配置された一対の磁極110と、磁極110と接合され、磁路を定める一対のヨーク130と、磁極110に巻き回されたコイル140と、を備えた偏向電磁石100において、磁極110は、ギャップ120に面する磁極110の表面と、イオンビームの軌道方向における磁極110の外部に面する磁極110の表面とが、電磁鋼板を重ねて接着したことで形成された層状となることを特徴とする。【選択図】 図1
