Embodiments of optical scanners, optical projection systems, and methods of scanning optical waveguides and projecting images are described. The disclosed devices, systems and methods advantageously provide an improvement to the compactness, robustness, simplicity, and reliability of optical scanners and optical projection systems by implementing a thermally driven actuator for inducing oscillations of a cantilever within the optical scanners and optical projection systems. The stability and accuracy of optical scanners and optical projection systems are further enhanced using capacitive sensing, feedback, and phase correction techniques described herein.Des modes de réalisation de l'invention concernent des scanners optiques, des systèmes de projection optiques et des procédés de balayage de guides d'ondes optiques et de projection d'images. Les dispositifs, systèmes et procédés de l'invention permettent d'obtenir une amélioration avantageuse de la compacité, de la robustesse, de la simplicité et de la fiabilité de scanners optiques et de systèmes de projection optiques par la mise en œuvre d'un actionneur à commande thermique permettant d'induire des oscillations d'un porte-à-faux à l'intérieur des scanners optiques et des systèmes de projection optiques. La stabilité et la précision des scanners optiques et des systèmes de projection optiques sont en outre améliorées grâce à des techniques de détection capacitive, de rétroaction et de correction de phase de l'invention.
