基于多级结构的柔性压力传感器、制备方法及测量系统
- 专利权人:
- 清华大学
- 发明人:
- 黄国亮,杨晗,符荣鑫,罗贤波,吕文琦
- 申请号：
- CN202110196116.7
- 公开号：
- CN113008417B
- 申请日:
- 2021.02.22
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2022
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及一种基于多级结构的柔性压力传感器、制备方法及测量系统，该传感器包括：弹性多级结构，所述弹性多级结构包括依次设置的2级以上的弹性结构层，每一弹性结构层的表面均设置有阵列式微结构，不同级弹性结构层的阵列式微结构均朝向同一方向；其中，至少一层弹性结构层具有导电层；柔性电极层，所述柔性电极层至少一层，柔性电极层的导电面与导电层相接触。本发明提供的多级结构可以连续引入微结构参与压力作用下的变形，并进一步增加原有形变微结构的形变，能够在压力变高时补偿结构变形的饱和效应，从而提高压力传感器的灵敏度和动态线性范围，满足复杂压力测量与反馈控制的需要。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
