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一种频域光学相干层析装置与方法
专利权人:
华中科技大学
发明人:
高鹏,凌福日
申请号:
CN201610039929.4
公开号:
CN105534481A
申请日:
2016.01.21
申请国别(地区):
CN
年份:
2016
代理人:
摘要:
本发明公开了一种频域光学相干层析装置及方法,属于太赫兹相干层析成像技术领域,现有的光学相干层析装置速度慢,成本高;本发明的频域光学相干层析装置包括产生THz的汞灯、分束器、用于横向扫描的电控二维平移台、用于放置样品的载物台、参考反射镜、衍射光栅、电控一维平移台、探测器,由于不需要参考镜的纵向扫描,大大加快了成像速度。用点阵CCD扫描的方式取代面阵CCD,降低了系统装置的成本。而且本结构采用宽谱汞灯作为光源,纵向成像分辨率可以达到100μm。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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