一种频域光学相干层析装置与方法
- 专利权人:
- 华中科技大学
- 发明人:
- 高鹏,凌福日
- 申请号:
- CN201610039929.4
- 公开号:
- CN105534481A
- 申请日:
- 2016.01.21
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明公开了一种频域光学相干层析装置及方法,属于太赫兹相干层析成像技术领域,现有的光学相干层析装置速度慢,成本高;本发明的频域光学相干层析装置包括产生THz的汞灯、分束器、用于横向扫描的电控二维平移台、用于放置样品的载物台、参考反射镜、衍射光栅、电控一维平移台、探测器,由于不需要参考镜的纵向扫描,大大加快了成像速度。用点阵CCD扫描的方式取代面阵CCD,降低了系统装置的成本。而且本结构采用宽谱汞灯作为光源,纵向成像分辨率可以达到100μm。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心