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MINIATURE ELECTRIC FIELD DETECTOR
专利权人:
THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY; INC.
发明人:
BICKFORD, James, A.,DUWEL, Amy,TURNQUIST, Max, Lindsay,MCNABB, Ronald, Steven, Jr.,LENK, William, A.,GOLMON, Stephanie, Lynne,WARD, Paul, A.,SAWYER, William, D.,WEINBERG, Marc, S.,LEBLANC, John, J.,KR
申请号:
USUS2018/025856
公开号:
WO2018/187307A1
申请日:
2018.04.03
申请国别(地区):
WO
年份:
2018
代理人:
摘要:
Aspects are generally directed to a compact and low-noise electric field detector, methods of operation, and methods of production thereof. In one example, an electric field detector includes a proof mass, a source of concentrated charge coupled to the proof mass, and a substrate having a substrate offset space defined therein, the proof mass being suspended above the substrate offset space. The electric field detector further includes a sense electrode disposed on the substrate within the substrate offset space and proximate the proof mass, the sense electrode being configured to measure a change in capacitance relative to the proof mass from movement of the proof mass in response to a received electric field at the source of concentrated charge. The electric field detector includes a control circuit coupled to the sense electrode and configured to determine a characteristic of the electric field based on the measured change in capacitance.Des aspects de linvention concernent de manière générale un détecteur de champ électrique compact et à faible bruit, des procédés de fonctionnement et des procédés de production de ce détecteur. Dans un exemple, un détecteur de champ électrique comprend une masse étalon, une source de charge concentrée couplée à la masse étalon, ainsi quun substrat à lintérieur duquel est défini un espace décalé de substrat, la masse étalon étant suspendue au-dessus dudit espace. Le détecteur de champ électrique comprend en outre une électrode de détection disposée sur le substrat à lintérieur de lespace décalé de substrat et à proximité de la masse étalon, lélectrode de détection étant conçue pour mesurer un changement de capacité par rapport à la masse étalon à partir dun mouvement de la masse étalon en réponse à un champ électrique reçu au niveau de la source de charge concentrée. Le détecteur de champ électrique comprend un circuit de commande couplé à lélectrode de détection et conçu pour déterminer une caractéristique du champ électrique su
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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