A system for safely supplying a liquid (eg, an irritating chemical) is provided. The liquid supply system includes: a) means for driving the first pressure reducing means to depressurize the processing chamber to form a negative pressure in the processing chamber； b) means for introducing the negative pressure in the processing chamber into the measuring chamber； Means for holding the negative pressure introduced into the chamber, d) means for sucking the liquid from the container into the measuring chamber using the negative pressure of the measuring chamber, e) processing the liquid in the measuring chamber using the vacuum of the processing chamber Means for sucking into the chamber；液体（例えば、刺激性の薬液）を安全に供給するシステムを提供する。液体供給システムは、ａ）第１の減圧手段を駆動して処理室を減圧して処理室に負圧を形成する手段、ｂ）処理室の負圧を計量室に導入する手段、ｃ）計量室に導入された負圧を保持する手段、ｄ）計量室の負圧を利用して容器から液体を計量室に吸引する手段、ｅ）処理室の真空を利用して計量室の液体を処理室に吸引する手段を有する。
