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低圧センサおよび流量センサ
- 专利权人:
- アンフェノール サーモメトリックス インコーポレイテッドＡＭＰＨＥＮＯＬ ＴＨＥＲＭＯＭＥＴＲＩＣＳ， ＩＮＣ．
- 发明人:
- ベロフ ニコライ エス,リー リーホワ,ブー キム,ブー ディン
- 申请号：
- JP20160101606
- 公开号：
- JP2017021010(A)
- 申请日:
- 2016.05.20
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ダイヤフラムの機械的強度が低いことによるダイヤフラムの破損を引き起こすことなく、十分な低圧に対する感度を有する低圧センサを提供する。【解決手段】センサダイは、半導体基板とセンサダイに影響を与える物理的パラメータに応じて曲がる弾性部分を形成するキャビティとを含む。弾性部分は、少なくともキャビティ内に形成された少なくとも１つの剛性の領域と、少なくとも１つの剛性の領域を囲み、剛性の領域より小さい厚みを含む薄い領域と、キャビティに向かい合って基板の側面上に弾性部分の薄い領域に少なくとも部分的に形成された少なくとも１つの応力集増要素３８とを含む。【選択図】図１０
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
