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１３族金属又は半金属の窒化物膜の堆積方法
- 专利权人:
- エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドＡＩＲ ＰＲＯＤＵＣＴＳ ＡＮＤ ＣＨＥＭＩＣＡＬＳ ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
- 发明人:
- シンジャン レイ,キム モ−スン,セルゲイ ウラジーミラビチ イバノフ
- 申请号：
- JP20160144114
- 公开号：
- JP2017025412(A)
- 申请日:
- 2016.07.22
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】１３族金属又は半金属の窒化物膜の製造方法を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム膜の製造方法であって、反応器に基材を与える工程と、少なくとも１種のアルミニウム前駆体を前記反応器に導入する工程であって、それが、前記基材の表面の少なくとも一部の上で反応して化学吸着層を与える工程と、前記反応器をパージガスによりパージする工程と、水素を含まない窒素プラズマを含むプラズマを前記反応器に導入して、化学吸着層の少なくとも一部と反応させ、少なくとも１つの反応サイトを与える工程であって、前記プラズマを、約０．０１から約１．５Ｗ／ｃｍ2の範囲の出力密度において発生させる工程と、任意選択的に不活性ガスにより前記反応器をパージする工程と、を含み、前記工程が、窒化アルミニウム膜の所望の厚さが得
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
