Mikromechanisches System, mit folgenden Merkmalen: einer Mehrzahl von Federn (7) einer mikromechanischen Funktionsstruktur (3), die an den Federn (7) aufgehängt ist und einer elektromagnetischen Strahlungsheizung (5), die so zu der mikromechanischen Funktionsstruktur (3) angeordnet ist, dass die elektromagnetische Strahlungsheizung (5) mit ihrem Strahlungsfeld (4) Teilbereiche einer der elektromagnetischen Strahlungsheizung (5) zugewandten Oberfläche der mikromechanischen Funktionsstruktur (3) oder die gesamte, der elektromagnetischen Strahlungsheizung (5) zugewandte Oberfläche der mikromechanischen Funktionsstruktur (3) direkt bestrahlt, um einen räumlich und/oder zeitlich vorbestimmten Temperaturverlauf an Teilbereichen der mikromechanischen Funktionsstruktur (3) oder an der gesamten mikromechanischen Funktionsstruktur (3) über die Strahlungsheizung (5) einzustellen.Micromechanical system, with the following features:a plurality of springs (7)a micromechanical functional structure (3) which, on the springs (7) is suspended andan electromagnetic radiation heater (5), so as to of the micromechanical functional structure (3) is arranged that the electromagnetic radiation heater (5) with its radiation field (4) partial regions of one of the electromagnetic radiation heater (5) facing surface of the micromechanical functional structure (3) or the entire, of the electromagnetic radiation heater (5) facing the interior of the surface of the micromechanical functional structure (3) directly irradiated, in order to obtain a spatially and / or chronologically predetermined pattern of temperatures on partial areas of the micromechanical functional structure (3) or on the entire micromechanical functional structure (3) by means of the radiant heating means (5) to adjust.
