PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluorescent X-ray analyzer that allows detection of a trace element, sets specific element distribution of the inside of an irradiation object as a tomogram similarly to that obtained by a CT, and prepares a functional image having high space resolution.SOLUTION: This fluorescent X-ray detector comprises a light source section for irradiating monochrome X-rays in a sheet beam shape, a sample support section for supporting an analysis sample, a detection section for detecting fluorescent X-rays generated from an element to be inspected contained in the analysis sample, and a computer for data processing. The detection section is arranged on a sheet beam surface orthogonal to the irradiation direction of X-rays, and detects the fluorescent X-rays generated from the element to be inspected existing on the perpendicular line fallen from a detecting element to the irradiation direction of X-rays. The sample support section rotates the sheet beam surface relatively to the light source section and the X-ray detection section about, as the center axis, the line penetrating the sheet beam surface perpendicularly, and rotates and scans the analysis sample with the monochrome X-rays, thereby providing an image of the inside of the analysis sample.COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT【課題】極微量の元素検出を可能とし、被射体内部の特定元素分布をCTで得られるのと同様に断層像として、高空間分解能を有する機能画像の作成を行う蛍光エックス線分析装置を提供すること。【解決手段】単色エックス線をシートビーム状に照射する光源部と、分析試料を支持する試料支持部と、分析試料に含まれる被検元素から発生する蛍光エックス線を検出する検出部と、データ処理用コンピューターを備え、検出部がエックス線照射方向と直交するシートビーム面に配設され、検出素子からエックス線照射方向へおろした垂線上に存在する被検元素から発生する蛍光エックス線を検出し、且つ、試料支持部がシートビーム面を垂直に貫通する線を中心軸としてシートビーム面を光源部及びエックス線検出部に対して相対的に回転し、分析試料を単色エックス線で回転走査して分析試料内部の画像を得ることができる蛍光エックス線検出装置として構成する。【選択図】図1
