In order to reduce a, remaining solution when hydrogen peroxide gas is produced to a minimum, disclosed is a hydrogen peroxide gas production device characterized by being provided with an atomization unit which atomizes hydrogen peroxide stored in a storage part by applying ultrasonic vibration to the hydrogen peroxide, a heater which is provided above the atomization unit and heats the hydrogen peroxide atomized by the atomization unit to gasify the hydrogen peroxide, a metallic internal cylinder part in which the heater is disposed in the inner space thereof and which guides upward the hydrogen peroxide that is atomized by the atomization unit and flows together with carrier gas, and an external cylinder part in which the internal cylinder part is disposed in the inner space thereof to configure a double tube and which forms, with the internal cylinder part, a gas flow path for the carrier gas that goes down toward the storage part therebetween, and characterized by being configured so that the carrier gas flowing through the gas flow path is brought into contact with the internal cylinder part heated by the heater and the heated carrier gas is introduced into the storage part.본 발명의 과제는, 과산화수소 가스를 생성할 때의 잔류 용액을 최대한 적게 하는 것이다. 본 발명의 과산화수소 가스 생성 장치는, 저장부에 저장된 과산화수소에 초음파 진동을 부여하여 무화시키는 무화부와, 상기 무화부의 상방에 설치되고, 상기 무화부에서 무화된 과산화수소를 가스화하기 위해 가열하는 히터와, 상기 히터가 내측 공간에 배치되고, 상기 무화부에서 무화되어 캐리어 가스와 함께 흐르는 과산화수소를 상방으로 유도하는 금속제의 내통부와, 상기 내통부가 내측 공간에 배치되어 이중관을 구성하고, 상기 저장부를 향해 하강하는 상기 캐리어 가스용 가스 유로를, 상기 내통부와의 사이에 형성하는 외통부를 구비하고, 상기 히터로 가열된 상기 내통부에 상기 가스 유로를 흐르는 캐리어 가스를 접촉시켜, 가열된 상기 캐리어 가스를 상기 저장부로 도입하도록 구성한 것을 특징으로 한다.
