流控微机电系统器件
- 专利权人:
- 惠普开发有限公司
- 发明人:
- C·－H·陈,X·杨
- 申请号：
- CN200480017253.4
- 公开号：
- CN1809421A
- 申请日:
- 2004.06.10
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2006
- 代理人:
- 蔡民军
- 摘要：
- 介绍了一种流控微机电系统(MEMS)器件(200)。在沉积于衬底(120)上的聚合物层(42)上形成了至少一个被部分地覆盖的微流道(124)。在一方面，被部分地覆盖的微流道(124)制成为一体式结构。在一个实施例中，对聚合物层(42)施加强曝光工艺(706)，以便形成深交联聚合物区域(620)。对聚合物层(42)施加弱曝光工艺(708)，以便形成浅交联聚合物区域(622)。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
