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検査装置
专利权人:
CANON INC
发明人:
YOSHII MINORU,吉井 実,IWASE HIDEO,岩瀬 秀夫,INOUE AKIHIRO,井上 晋宏
申请号:
JP2014130615
公开号:
JP2016009131A
申请日:
2014.06.25
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microscope and an endoscope that allow detection by a plurality of detection methods (multi modality) at the substantially same portion and at the same time.SOLUTION: A microscope 100 according to one embodiment of the present invention comprises: a single laser oscillation unit 101 a pulse width control unit 9 that changes a time width of light output from the laser oscillation unit an optical system 10 that converges light on a measured object 12 to irradiate the measured object with the light and a signal processing unit 15 that uses the pulse width control unit to change the time width of the light, and thereby detects intensity of Fresnel reflection light from a light-conversion portion on the measured object and information on non-linear light emission.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】実質的に同一箇所かつ同一時間で複数の検出方法(マルチモダリティ)による検出が可能な顕微鏡及び内視鏡を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態に係る顕微鏡100は、単一のレーザ発振部101と、レーザ発振部から出力された光の時間幅を変更するパルス幅制御部9と、光を被測定物12に集光して照射する光学系10と、パルス幅制御部を用いて光の時間幅を変更することによって、被測定物上の集光箇所からのフレネル反射光の強度と、非線形発光の情報とを検出する信号処理部15と、を備える。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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