The present invention relates to a method for increasing the relative humidity in the enclosed space 10, which is configured to include a plurality of cumulative step (graduated steps). The relative humidity is raised up to the target relative humidity in the first relative humidity. This method is to humidify the chamber 10 takes place by using the humidified ozone sterilization process. This method is performed by an apparatus for achieving that, humidified ozone sterilization comprising a single processing program to achieve the humidifying step in a plurality of cumulatively.본 발명은, 복수의 누적적 단계(graduated steps)를 포함하여 구성되는, 막힌 공간(10)에서 상대 습도를 상승시키기 위한 방법에 관한 것이다. 이 상대 습도는 제1 상대 습도에서 목표 상대 습도까지 상승된다. 이 방법은 가습 오존을 사용하여 살균 공정이 일어나는 챔버(10)를 가습하기 위한 것이다. 이 방법은 복수의 누적적 단계에서 가습을 달성하도록 프로그램된 하나의 프로세서를 포함하여 구성되는, 가습 오존 살균을 달성하기 위한 장치에 의해 수행된다.
