PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma sterilization apparatus with high plasma generation efficiency.SOLUTION: The plasma sterilization apparatus includes a high-frequency electrode 2, an earth electrode 3, a dielectric body 1, and a plasma generation module for generating plasma between the high-frequency electrode 2 and the earth electrode 3, and an insulating spacer 6 is disposed between the earth electrode 3 and the dielectric body 1. It causes that the outer electric field increases more than the inner electric field of the dielectric body 1 and reactive power is reduced, and the plasma generation efficiency improves.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】プラズマ生成効率が高いプラズマ滅菌装置を提供する。【解決手段】高周波電極2と、アース電極3と、誘電体1とを備え、高周波電極2とアース電極3との間でプラズマを生成するプラズマ発生モジュールを備えたプラズマ滅菌装置において、アース電極3と誘電体1との間に、誘電体1の誘電率よりも低い誘電率を有する絶縁スペーサ6を配置する。これにより、誘電体1内部の電界に比して外部の電界を増やすことができ無効電力が低減され、プラズマの生成効率が向上する。【選択図】 図3
