Methods and devices that monolithically integrate thin film elements/devices, e.g., environmental sensors, batteries and biosensors, with high performance integrated circuits, i.e., integrated circuits formed in a high quality device layer. Preferred embodiments further monolithically integrate a solar cell array. Preferred embodiments provide pin-size and integrated solar powered wearable electronic, ionic, molecular, radiation, etc. sensors and circuits.Linvention concerne des procédés et des dispositifs qui intègrent de manière monolithique des éléments/dispositifs en couches minces, par exemple, des capteurs environnementaux, des batteries et des biocapteurs, avec des circuits intégrés à haut rendement, cest-à-dire, des circuits intégrés formés dans une couche de dispositif de haute qualité. Des modes de réalisation préférés intègrent en outre de façon monolithique un réseau de cellules solaires. Les modes de réalisation préférés concernent des capteurs et des circuits électroniques, ioniques, moléculaires, à rayonnement, etc., intégrés portatifs alimentés par énergie solaire et de taille de broche.