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一种具有生物活性的Ta2N纳米晶涂层及其制备方法
- 专利权人:
- 南京航空航天大学
- 发明人:
- 徐江,蒋书运,刘林林
- 申请号：
- CN201610498729.5
- 公开号：
- CN105951048A
- 申请日:
- 2016.06.30
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 摘要：
- 一种具有生物活性的Ta2N纳米晶涂层及其制备方法。该涂层由大小8‑20 nm的Ta2N纳米晶粒组成，平均晶粒尺寸约为12.8 nm，在Hanks溶液中37℃下浸泡一周后后表面被磷灰石覆盖。采用双阴极等离子溅射沉积技术，在预处理过的医用钛合金工件表面原位沉积Ta2N纳米晶涂层，其中：a.靶材电压800~1000 V，工件电压250~400 V，靶材与工件间距10~20 mm，Ar气压25~40 Pa，N2分压1.0~2.5 Pa，沉积温度750~950 ℃，沉积时间 1.0~2.0 h；b.溅射靶材的种类：纯度为大于99.9%的商用纯Ta。本发明涂层提高医用钛合金的耐磨性、抗腐蚀性和生物活性。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
