A method of making a pharmaceutical composition having a drug-containing core surrounded by one or more metal oxide materials is provided. The method comprises the following sequential steps: (a) loading particles containing drug into the reactor, (b) applying a vapor or gaseous metal precursor to the particles in the reactor, (c) applying an inert gas. Performing one or more pump-purge cycles of the reactor using, (d) applying a vapor or gaseous oxidant to the particles in the reactor, and (e) one or more pumps of the reactor using an inert gas- And performing a purge cycle. The temperature of the particles does not exceed 35°C. This produces a pharmaceutical composition comprising a drug-containing core surrounded by one or more metal oxide materials.하나 이상의 금속 산화물 물질에 의해 에워싸인 약물 함유 코어를 갖는 제약 조성물을 제조하는 방법이 제공된다. 방법은 다음의 순차적 단계들: (a) 약물을 포함하는 입자들을 반응기 내로 로딩하는 단계, (b) 반응기에 있는 입자들에 증기상 또는 기체상 금속 전구체를 적용하는 단계, (c) 불활성 가스를 사용하여 반응기의 하나 이상의 펌프-퍼지 주기를 수행하는 단계, (d) 반응기에 있는 입자들에 증기상 또는 기체상 산화제를 적용하는 단계, 및 (e) 불활성 가스를 사용하여 반응기의 하나 이상의 펌프-퍼지 주기를 수행하는 단계를 포함한다. 입자들의 온도는 35 ℃를 초과하지 않는다. 이는 하나 이상의 금속 산화물 물질에 의해 에워싸인 약물 함유 코어를 포함하는 제약 조성물을 생성한다.