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レーザ装置、光治療装置、露光装置、デバイス製造方法、及び被検物検査装置
专利权人:
株式会社ニコン
发明人:
高田 康利,徳久 章
申请号:
JP2010526520
公开号:
JP5246262B2
申请日:
2009.08.18
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要:
It decreases from the possibility Fiber fusion being generated more. The laser device (1) has, with the excitation light source and through the optical fiber (4A, 4B and 4C), receiving the excited light which is output from the excitation light source, the light amplification section light amplification. The monitor section, through the optical fiber (4A, 4B and 4C) from the excitation light source, monitors the power level of the excited light which is transmitted to light amplification section side. The control section, after making the excited light of specified power level the excitation light source output in the excited optical output start beginning of the excitation light source, although the power level which is monitored to the occasion where excited light of specified power level is output from the excitation light source by the monitor section when it is higher than specified value, excited light of the power level which is higher than specified power level is made to output when the power level which is monitored to the occasion where excited light of specified power level is output from the excitation light source by the monitor section is below specified value, makes the output of excited light halt.Fiber fusionが発生する可能性をより一層低減する。レーザ装置(1)は、励起光源と、光ファイバ(4A,4B,4C)を介して励起光源から出力される励起光を受けて光増幅を行う光増幅部とを有する。モニタ部は、励起光源から光ファイバ(4A,4B,4C)を介して光増幅部側に伝送されてきた励起光のパワーレベルをモニタする。制御部は、励起光源の励起光出力開始当初において励起光源に所定パワーレベルの励起光を出力させた後に、励起光源から所定パワーレベルの励起光が出力されている際にモニタ部によりモニタされたパワーレベルが所定値よりも高い場合に、所定パワーレベルよりも高いパワーレベルの励起光を出力させる一方、励起光源から所定パワーレベルの励起光が出力されている際にモニタ部によりモニタされたパワーレベルが所定値以下である場合に、励起光の出力を停止させる。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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