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Messverfahren und Messvorrichtung
专利权人:
Carl Zeiss Meditec AG
发明人:
Wei-Jun Chen,Manfred Dick,Tobias Schmitt-Manderbach,Rong Dong,Christian Wojek
申请号:
DE102014117141
公开号:
DE102014117141A1
申请日:
2014.11.24
申请国别(地区):
DE
年份:
2016
代理人:
摘要:
Es wird ein Messverfahren bereitgestellt, bei demkohärente oder teilkohärente Messstrahlung auf ein zu untersuchendes Gebiet eines Objektes gerichtet wird,das zu untersuchende Gebiet auf einem Sensor abgebildet wird, um die am zu untersuchenden Gebiet des Objektes gestreute Messstrahlung während einer Messdauer mehrmals als zweidimensionales Specklemuster aufzunehmen,anhand der aufgenommenen Specklemuster eine globale Bewegung des zu untersuchenden Gebietes, die während der Messdauer stattfand, ermittelt und Specklebilder erzeugt werden, in denen der Anteil der globalen Bewegung verringert oder kompensiert ist, undanhand der Specklebilder ein erster Bereich, in dem eine lokale Bewegung während der Messdauer im zu untersuchenden Gebiet stattfand, ermittelt wird.It is a measuring method is provided, in whichcoherent or partially coherent measuring radiation on an area to be examined of an object is directed,the area to be examined is imaged on a sensor, in order to be examined on the field of the object measurement radiation scattered several times during a measuring duration to receive as a two-dimensional speckle pattern,on the basis of the recorded speckle pattern a global movement of the region to be analyzed, which took place during the measurement duration, are determined, and speckle pictures can be produced, in which the proportion of the global movement is reduced or compensated for, andon the basis of the speckle pictures a first region in which a local movement during the measuring time took place in the area to be examined is determined.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/
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