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基于QIGA的宽带EUV多层膜的离散化膜系设计方法
- 专利权人:
- 长春理工大学
- 发明人:
- 匡尚奇,张超
- 申请号：
- CN201710934712.4
- 公开号：
- CN107678158A
- 申请日:
- 2017.10.10
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 仲崇明
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于QIGA的宽带EUV多层膜的离散化膜系设计方法，包括：1)输入所述设计方法的初始参数值；2)对多层膜膜层沉积时间进行量子编码，生成初始量子种群Q(t)；3)根据Q(t)中个体的量子概率幅构造量子叠加态的观察态R(t)；4)判断是否满足终止条件，满足则停止输出最优解，否则继续；5)计算R(t)中表征离散化膜系沉积时间的个体适应度，保存对应最优膜系的沉积时间的个体；6)更新量子旋转门，通过其更新Q(t)；7)观测Q(t)，生成R(t)，评估R(t)，保留最优个体；8)通过量子非门更新Q(t)；9)采用精英保留策略，转向步骤4)。本发明可以解决现有极紫外多层膜设计方法所存在的求解效率低及在镀膜中对厚度控制精度要求高等缺点。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
