接触表面が削減された微小機械構成部品及びその製作方法
- 专利权人:
- ニヴァロックス−ファー ソシエテ アノニム
- 发明人:
- アレクス・ガンデルマン,アンドレ・パン
- 申请号：
- JP20160122395
- 公开号：
- JP2017009609(A)
- 申请日:
- 2016.06.21
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】材料のウェハを微小機械加工することによって形成される構成部品の摩擦を改善できる、新たなタイプの微小機械構成部品および新たなタイプの制作方法を提案する。【解決手段】本発明は、少なくとも１つの削減された接触表面を有する、シリコン系構成部品に関し、上記接触表面は、垂直な側壁の「Ｂｏｓｃｈ」エッチングによる、少なくとも１つの傾斜した側壁のエッチングステップによって形成され、特にシリコン系ウェハの微小機械加工によって形成された構成部品の摩擦を改善する。【選択図】図１１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
