inspected objects of a single layer on a shooting optical tomography imaging method for the same scanning the inspected object in the direction of the predetermined area to a plurality of measurement light as irradiation spot to another position of the inspected object to the other spot , and a plurality of return light reflected or scattered from the inspected object , the reference mirror in that for detecting the reflected interference signal composed of a plurality of corresponding reference light , each of the interference signal of the detected interference signal based on the displacement amount between the different spot position using the interference signal corresponding to the at least two spots of includes running the calculation process with respect to .피검사물의 단층상을 촬영하는 광 단층촬영의 촬상방법은, 동일한 방향으로 복수의 측정광의 스폿들로 소정의 영역의 상기 피검사물을 주사하여 다른 스폿들로 상기 피검사물의 다른 위치를 조사하는 것과, 상기 피검사물에서 반사 또는 산란된 복수의 귀환광과, 참조 미러에서 반사된 복수의 대응한 참조광으로 구성된 간섭신호를 검출하는 것과, 각각의 간섭신호 중 적어도 2개의 스폿에 대응한 간섭신호를 사용하여 상기 다른 스폿 위치간의 위치 어긋남 양에 의거하여 상기 검출된 간섭신호에 관해 연산 처리를 실행하는 것을 포함한다.
