一种储液装置
- 专利权人:
- 昆山龙腾光电股份有限公司
- 发明人:
- 张军伟
- 申请号：
- CN201920411638.2
- 公开号：
- CN210632609U
- 申请日:
- 2019.28.03
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本申请公开了一种储液装置,包括设有第一容置空间的框体,所述第一容置空间用于储存液体,所述储液装置还包括至少一个杀菌装置,所述杀菌装置设置在所述第一容置空间内,所述杀菌装置包括至少一个紫外灯及支撑架,所述支撑架具有第二容置空间,所述紫外灯设在所述第二容置空间内并与所述支撑架固定连接。本实用新型的一种储液装置,其可以去除储液装置内的有机物,防止使用该储液装置内的液体清洗基板时造成污染进而导致后续产品异常。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
