PROBLEM TO BE SOLVED: To enable an X-ray detecter and a data collecting apparatus to be densely packed.SOLUTION: The X-ray detecter system 12 is constructed by overlapping an X-ray detecting chip 12a in which a plurality of detecting elements are arranged in a two dimensional array for directly transforming X-rays or indirectly once transformed optical signals into electric signals, an amplifying chip 12b1 for amplifying the electric signals from detecting elements of the X-ray detecting chip, and an A/D conversion chip 12b2 for converting output signals from the amplifying chip to digital signals, and mounting them on a ceramic substrate 12c by electrically connecting them with through electrodes in series. Thus, the X-ray detecting apparatus and data collecting apparatus, conventionally constructed separately, are integrated into one chip to be a high density X-ray detecter system, which can be densely packed into an X-ray CT apparatus.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】X線検出器およびデータ収集装置を高密度に実装可能なものとする。【解決手段】X線を直接的にまたは一旦光に変換した上で間接的に電気信号に変換する複数の検出素子を二次元状に配列したX線検出チップ12aと、このX線検出チップの検出素子からの電気信号をそれぞれ増幅する増幅チップ12b1と、この増幅チップの出力をデジタル信号に変換するA/D変換チップ12b2とを重ねて、その間を順次電気的に貫通電極などで接続したものをセラミックなどの基板12cに載置してX線検出器システム12を構成した。これにより、従来別構成であったX線検出器とデータ収集装置とを、1チップ化して高精細のX線検出器システムとしたので、X線CT装置に高密度に実装が可能となる。【選択図】 図3
