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Flat flexible support piece for a dielectrically impeded plasma treatment
专利权人:
CINOGY GmbH
发明人:
Mirko Hahnl,Karl-Otto Storck,Leonhard Trutwig,Dirk Wandke
申请号:
DE102017100161
公开号:
DE102017100161A1
申请日:
2017.01.05
申请国别(地区):
DE
年份:
2018
代理人:
摘要:
Bei einem flächigen flexiblen Auflagestück mit einer mit einer Hochspannung versorgbaren Elektrodenanordnung für eine dielektrisch behinderte Plasmabehandlung einer zu behandelnden Oberfläche, wobei die Elektrodenanordnung wenigstens eine flächige Elektrode (3) und eine Auflagefläche für die zu behandelnde Oberfläche aufweisende Dielektrikumsschicht (2) aus einem flächigen flexiblen Material aufweist, die die wenigstens eine Elektrode (3) elektrisch von der zu behandelnden Oberfläche so abschirmt, dass nur ein dielektrisch behinderter Stromfluss zwischen der wenigstens einen Elektrode (3) und der zu behandelnden Oberfläche möglich ist, wenn in einem Gasraum zwischen der Elektrodenanordnung und der zu behandelnden Oberfläche ein Plasmafeld durch die Vorspannung der Elektrode (3) entsteht, wird eine vereinfachte Handhabung und erhöhte Sicherheit dadurch erreicht, dass das Auflagestück eine Hochspannungsstufe (14) zur Erzeugung einer Hochspannung aufweist, deren Ausgang mit der wenigstens einen Elektrode (3) durch ein Verbindungsstück (17, 17') auf dem Auflagestück verbunden ist.In a planar flexible support piece with a high voltage supplyable electrode assembly for a dielectrically hindered plasma treatment of a surface to be treated, the electrode assembly at least one planar electrode (3) and a bearing surface for the surface to be treated dielectric layer (2) made of a sheet-like flexible material which electrically shields the at least one electrode (3) from the surface to be treated such that only a dielectrically impeded current flow is possible between the at least one electrode (3) and the surface to be treated, if in a gas space between the electrode arrangement and the surface to be treated by the bias voltage of the electrode (3), a simplified handling and increased safety is achieved in that the support piece has a high voltage stage (14) for generating a high voltage whose output with the at least one electrode (3) is connected by a connecting piece (
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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