一种柔性阵列式湿度压力传感器及其制备工艺
- 专利权人:
- 武汉大学
- 发明人:
- 李辉,唐舞阳,张云帆,申胜男
- 申请号：
- CN202210366550.X
- 公开号：
- CN114858339B
- 申请日:
- 2022.04.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2023
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种柔性阵列式湿度压力传感器及其制备工艺，柔性阵列式湿度压力传感器从下到上依次包括柔性基底、下层电路、绝缘层、吸水层、上层电路和柔性保护层，本发明通过喷墨打印工艺，首先在柔性基底上制作下层电路，下层电路包括至少一个湿度和多个压力单元的下层电路，之后覆盖绝缘层，之后在湿度传感单元上覆盖吸水层，然后在吸水层和压力传感单元分别喷墨打印电路，制备上层电路，其中，湿度传感区域的电容顶极板上设有便于吸湿和蒸发的大量微孔；最后覆盖柔性保护层，并预留湿敏窗口。本发明同时集成了湿度和压力测量单元，并且相互不干扰，本发明结构简单、使用方便、使用范围广。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
