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稀释磷化氢的喷嘴
专利权人:
弗兰齐斯库斯·霍恩
发明人:
弗兰齐斯库斯·霍恩
申请号:
CN02108592.7
公开号:
CN1234463C
申请日:
2002.04.03
申请国别(地区):
中国
年份:
2006
代理人:
许天易
摘要:
本发明涉及一种用气体稀释磷化氢的喷嘴,包括一个管状的导气装置、一个环状的安装的切口和/或在至少一边上的安装的小管,作为PH3引导(引导器),因此切口开口/或小管的开口的厚度的最大值是管状导气装置(引导器)的直径的1/25和或在空气引导部件的表面和在PH3入口的区域的管状导气装置的内侧之间的距离的1/25。空气引导装置的形状为弹头形。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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