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音響窓層を有するCMUTアレイ
专利权人:
コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ
发明人:
ベッカース ルーカス ヨハネス アンナ マリア,ハッケンス フランシスクス ヨハネス ジェラルドゥス,ダークセン ペーター
申请号:
JP2017544959
公开号:
JP2018512766A
申请日:
2016.02.23
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
The ultrasonic array for acoustic wave transmission comprises at least one capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) cell 6, which comprises a substrate 4, a first electrode 7, with a cavity 8 in between A cell membrane 5 having a first electrode and a second electrode 7 facing the second substrate 7 and configured to vibrate at the time of activation of the cell, a cell membrane 5 covering the cell membrane and having an outer surface and the cell And an acoustic window layer 13 having an inner surface facing the membrane. The acoustic window layer has a first layer having molecules of an antioxidant substance and a polymer material 47 in which insulating particles 41 are embedded, wherein the polymer material is composed of hydrogen and carbon atoms, 95 g / cm3And has an acoustic impedance of 1.45 MRayl or more. This acoustic window layer provides improved acoustic performance such as wide bandwidth and low attenuation in applications using CMUT based arrays.音響波送信に対する超音波アレイは、少なくとも1つの容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ(CMUT)セル6を有し、前記CMUTセルは、基板4と、第1の電極7と、間に空洞8を挟んで前記第1の電極及び前記第2の基板に対向する第2の電極7を持ち、セル活性化時に振動するように構成されるセル膜5と、前記セル膜を覆い、外側表面及び前記セル膜に対向する内側表面を持つ音響窓層13とを有する。前記音響窓層は、抗酸化物質の分子及び中に絶縁粒子41を埋め込まれた高分子材料47を有する第1の層を有し、前記高分子材料は、水素及び炭素原子からなり、0.95g/cm3以下の密度及び1.45MRayl以上の音響インピーダンスを持つ。この音響窓層は、CMUTベースのアレイを用いる応用において、広い帯域幅及び低い減衰のような改良された音響性能を提供する。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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