PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic sensor in which reliability is improved by withdrawing wiring efficiently from elements arranged in the array-shape, and a method of manufacturing the same.SOLUTION: An ultrasonic sensor comprises a plurality of ultrasonic elements having first electrodes 14, piezoelectric material layers 15 and second electrodes 16 from a substrate 11 side, and arranged in the first direction and the second direction. The second electrodes 16 are provided continuously in the ultrasonic element rows arranged in parallel in the first direction. The first electrodes 14 are provided continuously in the ultrasonic element rows arranged in parallel in the second direction. The piezoelectric material layer 15 is provided for each ultrasonic element along the second direction. The ultrasonic elements are connected to each other in the first direction via connection parts 22 extended in the first direction. A piezoelectric material layer removal part 21 from which the piezoelectric material layer 15 is removed exists between the connection parts 22. The second electrodes 16 are provided in regions of the connection part 22 and the piezoelectric material layer removal part 21.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】アレイ状に配置した素子から効率よく配線を引き出して信頼性を向上させた超音波センサー及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板11側から第1電極14、圧電体層15及び第2電極16を備え、第1方向及び第2方向に配列された複数の超音波素子を具備する超音波センサーであって、第2電極16が第1方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、第1電極14が第2方向に並設された超音波素子列に連続して設けられ、圧電体層15は、第2方向に沿って超音波素子毎に設けられ、第1方向に延設される連結部22を介して第1方向で超音波素子同士が連結され、連結部22の間には、圧電体層15が除去された圧電体層除去部21が存在し、連結部22及び圧電体層除去部21の領域には第2電極16が設けられている。【選択図】図2
