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ネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム、パターン形成方法、硬化膜、硬化膜の製造方法
- 专利权人:
- 東京応化工業株式会社
- 发明人:
- 中村 亮輔,安藤 友之,山田谷 徳紀
- 申请号：
- JP20160170206
- 公开号：
- JP2018036533(A)
- 申请日:
- 2016.08.31
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】強度が高められた硬化膜が得られるとともに、良好な形状のパターンを形成可能なネガ型感光性樹脂組成物、これを用いて形成された感光性樹脂膜を備える感光性レジストフィルム及びパターン形成方法、並びに、硬化膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】エポキシ基含有樹脂と、金属酸化物と、カチオン重合開始剤（Ｉ）とを含有するネガ型感光性樹脂組成物。カチオン重合開始剤（Ｉ）は、一般式（Ｉ１）で表される化合物、及び一般式（Ｉ２）で表される化合物からなる群より選ばれる１種以上を含むことを特徴とする。式（Ｉ１）中、Ｒｂ０１〜Ｒｂ０４は、置換基を有していてもよいアリール基、又はフッ素原子である。式（Ｉ２）中、Ｒｂ０５は、置換基を有していてもよいフッ素化アルキル基、又はフッ素原子である。複数の
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
