基于双波面干涉条纹阵列的表面形貌测量装置及方法
- 专利权人:
- 电子科技大学
- 发明人:
- 余学才,任华西,王晓庞,肖景天
- 申请号：
- CN201610259777.9
- 公开号：
- CN105783776A
- 申请日:
- 2016.04.25
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 周永宏`王伟
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于双波面干涉条纹阵列的表面形貌测量装置及方法，基于剪切干涉的自参考干涉原理，建立具有完全共光路、简单、紧密、稳定可靠的结构，实现方便稳定共路的剪切；同时建立包括图像采集、图像处理、测量结果显示三部分在内的软件系统，使得整个测量系统在操作者和计算机的协调控制下进行表面形貌精密测量。本发明能实现精密加工表面形状在线测量，为表面质量在线监测和进一步的适应性表面质量控制创造了条件，对微电子加工、MEMS、光电子信息技术、航空航天技术和其它高技术领域发展和应用中的高精密表面加工具有重要意义。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
