高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪
- 专利权人:
- 南京理工大学
- 发明人:
- 陈磊,郑东晖,张瑜,朱文华,胡芬,李金鹏,韩志刚,万骏,宋乐,周舒,陈宇琪,谷晨风,郑权
- 申请号：
- CN201510618595.1
- 公开号：
- CN105241393B
- 申请日:
- 2015.09.24
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 朱显国
- 摘要：
- 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线快速批量检测，可应用于芯片、LED、微机械、微光学、航空航天用光学陀螺、强激光、天文望远镜等生产与科研领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
