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研磨パッド及びシステム、並びにその作製方法及び使用方法
- 专利权人:
- スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
- 发明人:
- レフー， デュイ ケー．,マイヤー， ケネス エー．ピー．,デイヴィッド， モーゼス エム．
- 申请号：
- JP20160560383
- 公开号：
- JP2017513722(A)
- 申请日:
- 2015.03.31
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本開示は、研磨層を含む研磨パッドに関し、研磨層は作業表面と、作業表面と反対側の第２表面とを含む。作業表面は、複数の正確に成形された細孔、複数の正確に成形された突起部、及びランド領域を含む。本開示は更に、研磨システムに関し、研磨システムは、上記の研磨パッド及び研磨溶液のいずれか１つを含む。本開示は、基材の研磨方法に関し、研磨方法は、上記研磨パッドのいずれか１つに従う研磨パッドを提供する工程と、研磨パッドの作業表面を基材表面と接触させる工程と、研磨パッドの作業表面と基材表面との間の接触を維持しながら、研磨パッド及び基材を互いに対して動かす工程とを含み、研磨は研磨溶液の存在下で行われる。【選択図】１Ａ
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
