采用时频检测的低相干反射的设备和方法

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专利权人:

FOGALE 纳米技术公司

发明人:

阿兰·库特维尔,克里斯蒂安·尼尔,查兰库马尔·戈达瓦拉蒂

申请号：

CN201880028164.1

公开号：

CN110603423A

申请日:

2018.12.03

申请国别(地区):

CN

年份:

2019

代理人:

摘要：

本发明涉及一种用于确定关于物体(13)的界面的结构和/或位置的信息的低相干干涉仪设备或装置(100、200),该设备或装置包括:多色光源(11);用于产生测量光束和参考光束的光学系统;用于在测量光束和参考光束之间引入可变光学时延的延迟线(14);用于将测量光束和参考光束组合并且产生表示所得干涉信号的光功率谱密度的光谱信号的光学检测器(15);控制和处理模块(16),所述控制和处理模块布置用于:对于多个光学时延采集多个光谱信号,对于每个光谱信号确定在所谓的光谱测量范围内的干涉光束之间的光学延迟信息,根据光学时延来分析在所述光学延迟中的演变,并且将根据不同光谱信号确定的一个或更多个光学延迟分配给一条或更多条所谓的界面曲线(521、522、523、524),所述界面曲线对应于具有正的、负的、零或几乎为零的斜率的直线,所述界面曲线取决于所述光谱信号的采集的相应的光学时延,并由此推断关于物体(13)的界面的结构和/或位置的信息。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/