In certain embodiments, the system (10) includes a laser light source (20), one or more optical elements (24), the monitoring device (28), and a control computer (30). Laser light source (20), and emits one or more of the laser pulse. Optical element (24) changes the pulse length of the laser pulse, the monitoring device (28) measures the pulse length of the laser pulse in order to detect changes in pulse length. The control computer (30) receives the pulse length measured from the monitoring device (28), determine one or more laser parameters to compensate for changes in the pulse length and controls the laser light source (20) according to laser parameters. .FIELD 1ある特定の実施形態において、システム(10)は、レーザ光源(20)、1つ以上の光学素子(24)、監視デバイス(28)、および制御コンピュータ(30)を含む。レーザ光源(20)は、1つ以上のレーザパルスを出射する。光学素子(24)は、レーザパルスのパルス長を変更し、監視デバイス(28)は、パルス長の変化を検出するためにレーザパルスのパルス長を測定する。制御コンピュータ(30)は、監視デバイス(28)から測定されたパルス長を受け取り、パルス長の変化を補償する1つ以上のレーザパラメータを決定し、レーザパラメータに従ってレーザ光源(20)を制御する。【選択図】図1
