共焦平面相对于共焦设备与样品的相对移动方向倾斜的共焦表面形貌测量
- 专利权人:
- 阿莱恩技术有限公司
- 发明人:
- 埃雷兹·兰伯特,阿迪·莱文,塔勒·维科尔
- 申请号：
- CN201580047365.2
- 公开号：
- CN106662434B
- 申请日:
- 2015.06.30
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 描述一种用于测量三维结构的表面形貌的设备。在多个实施例中,所述设备被配置为将多个光束中的每个光束均相对于所述设备聚焦到各自固定的焦点位置。所述设备测量多个返回光束中的每个返回光束的特性,该返回光束通过利用光束照射所述三维结构而产生。针对所述设备与所述三维结构之间的多个不同位置和/或朝向测量所述特性。针对所述设备与所述三维结构之间的多个不同位置和/或朝向,至少部分地基于测量的返回光束的所述特性,确定所述三维结构的表面形貌。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
