扩散式等离子体处理和材料加工
- 专利权人:
- 艾尔廸科技有限公司
- 发明人:
- 徐奕伟
- 申请号：
- CN201610268866.X
- 公开号：
- CN105963749A
- 申请日:
- 2007.09.04
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 摘要：
- 用于进行空气处理和材料加工的系统，其包括：至少一个扩散式等离子体反应器，每个扩散式等离子体反应器具有绝缘电极(13，16)和限定在电极(13，16)之间的反应室(12)；位于电极(13，16)之间的反应室(12)内的扩散器(19)；以及电源(40)，其提供高电压的交流电给电极(13，16)；其中电极(13，16)在反应室(12)内产生等离子体，从而处理流经反应室(12)的空气或加工置于反应室(12)内的材料。还提供了用于进行空气处理和材料加工的有效方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
