部材の表面の撥水処理方法
- 专利权人:
- キヤノン株式会社
- 发明人:
- 永井 正隆,田川 義則,永田 真吾,村山 裕之,大宅 修平,渡辺 誠
- 申请号：
- JP20150115201
- 公开号：
- JP2017001218(A)
- 申请日:
- 2015.06.05
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 部材のフォトリソグラフィーによるパターニング精度を高くしつつ、部材の表面を良好に撥水処理する方法を提供すること。【解決手段】 部材の表面の撥水処理方法であって、感光性樹脂層の表面にフッ素原子を有する化合物を含有する材料を付与し材料層を有する部材を形成する工程と、前記部材を露光装置で露光して前記部材に潜像を形成する第１の露光工程と、前記潜像を形成した部材を現像する現像工程と、前記現像工程の後に前記部材を露光装置で露光する第２の露光工程と、を有することを特徴とする部材の表面の撥水処理方法。【選択図】 図５
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
