PURPOSE: An apparatus for supplying sterilants in a low temperature plasma sterilizer is provided to improve sterilization efficiency. CONSTITUTION: An apparatus for supplying sterilants in a low temperature plasma sterilizer comprises a chamber(30) which performs sterilization through the reaction of sterilant ions and plasma electrons, a plasma generation part(20) which generates plasma within the chamber, a vaporizer(60) which vaporizes sterilant in an internal space, a solenoid(110) which ejects the air of the vaporizer to the outside, an capsule injector(123) including capsules, a cassette, a needle, needle sensors, and a central processing unit, a temperature controller(100) which controls the temperature of the evaporator, and an injector which injects the vaporized sterilants into the chamber. [Reference numerals] (10) Door; (100) Temperature controller; (121,70) I/O board; (125) Controller; (127) Motor 1; (128) Motor 2; (129,CC) Gear; (130) Needle; (134) Cassette; (20) Plasma generation part; (30) Chamber; (40) Sprayer; (60) Vaporizer; (90) A/D board; (AA) Capsule injector; (BB) Capsule injector door S/W본 발명은 멸균제를 챔버 내에 공급하여 플라즈마와 함께 반응하도록 함으로써 수술기구 및 의료기구의 표면에 잔류된 세균을 멸균 처리하여 멸균 효율을 상승시키는 저온 플라즈마 멸균기내 멸균제를 공급하는 장치에 관한 것으로, 일측에 도어가 형성되어 피 멸균물을 저장하고, 일정 압력하의 공간 내부에서 활성화된 멸균제 이온과 플라즈마 전자들이 반응하여 멸균작용을 수행하는 챔버; 상기 챔버 내에 플라즈마를 발생키시는 플라즈마 발생부; 내부공간에서 멸균제를 기화시키는 기화기; 상기 기화기의 공기를 외부로 배출하여 진공시키는 솔레노이드2; 상기 기화기 내부로 멸균제를 공급하는 캡슐 인젝터; 상기 캡슐 인젝터에서 공급된 멸균제를 상기 기화기 내부로 주입하는 솔레노이드1; 상기 기화기 내부의 온도를 조절하는 온도 조절기; 상기 기화기 내부에서 기화된 멸균제를 상기 챔버 내부로 분사시키는 분사기; 및 상기 솔레노이드2를 제어하여 기화기의 진공 상태를 조절하고, 상기 분사기를 제어하여 멸균제의 분사량을 조절하고, 상기 온도조절기를 제어하여 기화기 내부의 온도를 조절하는 중앙처리부를 포함한다.