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一种用于生产碳化硅晶体的原料及其制备方法与应用
专利权人:
山东天岳先进材料科技有限公司
发明人:
张九阳,许晓林,杨晓俐,李磊磊,高超,徐兴超
申请号:
CN202010129133.4
公开号:
申请日:
2020.28.02
申请国别(地区):
CN
年份:
2020
代理人:
摘要:
本申请公开了一种用于生产碳化硅晶体的原料及其制备方法与应用。所述原料为中空球状碳化硅粉料。所述方法通过水热法,利用有机碳源作为模板剂对碳化硅粉料进行优化,水热反应可以使碳化硅颗粒进一步细化,随后堆叠吸附在碳球模板上,从而减小粉料颗粒尺寸,通过形成中空纳米球状颗粒增大其比表面积,进而增大受热面积,保证粉体充分升华和升华的均匀性。本发明有利于提高生产碳化硅晶体中碳化硅合成粉料的利用率,提高碳化硅晶体的合成质量。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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