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ＡＣ電力コネクタ、スパッタリング装置、及びそのための方法
- 专利权人:
- アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
- 发明人:
- シュナッペンベルガー， フランク,ヘルミヒ， アンケ,ケラー， シュテファン,ベンダー， マルクス
- 申请号：
- JP20160541122
- 公开号：
- JP2017503074(A)
- 申请日:
- 2013.12.18
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- ＡＣ電源をデバイスに接続するためのＡＣ電力コネクタが提供される。ＡＣ電力コネクタは、ＡＣ電源に接続可能な少なくとも１つの第１の要素及びデバイスに接続可能な少なくとも１つの第２の要素を含み、第１の要素と第２の要素が、電気容量を規定するように互いに対して第１の距離を隔てて配置され、少なくとも１つの第１の要素と少なくとも１つの第２の要素が、互いに対して回転可能であり、第１の要素及び第２の要素が、少なくとも１つの第１の要素と少なくとも１つの第２の要素との間でＡＣ電力を移送するように構成される。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
