PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic generation unit that emits an ultrasonic wave having a plane wavefront.SOLUTION: In a cMUT 100, a bottom portion 120 having a disc-shaped lower electrode 122 is formed on a base plate 110, and a hollow cylindrical support portion 130 is formed on the bottom portion 120. On the support portion 130, a top portion 140 is formed that includes a ring-shaped upper electrode 142 and a nonconductive vibration mass portion 144 that is formed on a side of an axis C of the upper electrode 142. When alternating voltage is placed between the lower electrode 122 and the upper electrode 142, electrostatic attraction acts on portions where the lower and upper electrodes 122 and 142 face each other. The vibration mass portion 144 has greater rigidity, and is therefore less deformable, than other portions. Thus, the top portion 140 vibrates with an outer edge portion including the upper electrode 142 curved and a central portion including the vibration mass portion 144 maintaining a planar shape. Therefore, the cMUT 100 emits an ultrasonic wave having a plane wavefront and good directivity.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】平板状の波面を有する超音波を射出できる超音波発生ユニットを提供する。【解決手段】cMUT100において、基板110上に、円板形状の下部電極122を有する底面部120が形成され、その上には中空の円筒形状をした支持部130が形成されている。支持部130上には、輪帯形状をした上部電極142と、上部電極142の中心軸C側に形成された非導電性の振動質量部144とを含む上面部140が形成されている。下部電極122と上部電極142との間に交流電圧を印加すると、それら電極が対向する部分に静電吸引力が作用する。一方、振動質量部144は、他の部分よりも剛性が高く変形しにくい。その結果、上面部140は、上部電極142を含む周辺部分が湾曲し、振動質量部144を含む中心部分は平板形状を維持したまま振動する。したがって、cMUT100は、その波面が平板状であり、指向性が良い超音波を射出できる。【選択図】図1
