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ポテンシャル取得装置、磁場顕微鏡、検査装置およびポテンシャル取得方法
专利权人:
国立大学法人神戸大学
发明人:
木村 建次郎
申请号:
JP2012503192
公开号:
JP5713246B2
申请日:
2011.03.01
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要:
The magnetic field acquisition device, the measuring unit long enough (21) is arranged on the measuring plane to satisfy z = α than the width of the target area of ​​measurement, and the predetermined reference direction of the measurement plane, the measurement unit (21) while changing the plurality of types of angle θ to the longitudinal direction of the form, and scanning in the perpendicular X direction are repeated in the longitudinal direction of the measuring section (21). By Fourier transform (, θ and, g (k x Subsequently, the x coordinate parameter of the direction X, the measurement value f acquired by the repetition of the scanning x), θ) is obtained ( However,. is the wave number of the direction X is k x). Then, by substituting g (k x , θ) and the two-dimensional potential acquiring a predetermined formula, (x, y, α) shows a two-dimensional measurement surface potential at φ is obtained. It is thus possible, by using (21) the measuring unit is sufficiently larger than the width of the target area is carried out by high resolution measurement of the potential of the 2-dimensional.磁場取得装置では、測定の対象領域の幅に比べて十分に長い測定部(21)がz=αを満たす測定面上に配置され、測定面上の所定の基準方向と、測定部(21)の長手方向とがなす角度θを複数通りに変更しつつ、測定部(21)の長手方向に垂直なX’方向への走査が繰り返される。続いて、X’方向の座標パラメータをx’として、走査の繰り返しにより取得される測定値f(x’,θ)をフーリエ変換することにより、g(kx’,θ)が取得される(ただし、kx’はX’方向の波数である。)。そして、所定の2次元ポテンシャル取得式にg(kx’,θ)を代入することにより、測定面における2次元ポテンシャルを示すφ(x,y,α)が求められる。これにより、対象領域の幅に比べて十分に大きい測定部(21)を用いて、2次元のポテンシャルの測定を高い分解能にて行うことができる。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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