PROBLEM TO BE SOLVED: To easily fine-tune the horizontal position of an X-ray generation part.SOLUTION: A fine-tuning mechanism 38 comprises a Z-axis rotation member 33, a fine-tuning slide member 34, a fine-tuning brake 35, and a reference position detection part 37. A rotation member body 33a is combined with the fine-tuning slide member 34. The fine-tuning slide member 34 can be moved together with an X-ray generation part 24 in horizontal directions (an X direction and a Y direction) with respect to the Z-axis rotation member 33 (with respect to a support post 22). Thereby, the X-ray generation part 24 can be fine-tuned in the horizontal directions.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】本発明は、X線発生部の水平方向位置を容易に微調整することを目的とするものである。【解決手段】微調整機構38は、Z軸回転部材33、微調整スライド部材34、微調整ブレーキ35及び基準位置検出部37を有している。回転部材本体33aには、微調整スライド部材34が組み合わされている。微調整スライド部材34は、X線発生部24とともにZ軸回転部材33に対して(支柱22に対して)水平方向(X方向及びY方向)へ移動可能になっている。これにより、X線発生部24の水平方向への微調整が可能となっている。【選択図】図3