THE BOARD OF REGENTS OF THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
发明人:
STARR, Peter,BAILEY, Steven,AGRAWAL, Mauli
申请号：
USUS2014/069525
公开号：
WO2015/089175A1
申请日:
2014.12.10
申请国别(地区):
US
年份:
2015
代理人:
摘要：
A thin-film, diaphragm based device is disclosed which can be used to perform an array of sensing and actuating operations where a very thin profile is desired, such as in millimeter, micrometer, or nanometer tight spaces.L'invention concerne un dispositif à film mince comprenant une membrane, pouvant être utilisé pour effectuer un ensemble d'opérations de détection et d'actionnement pour lesquelles un profil très mince est souhaité, par exemple dans des espaces restreints de taille millimétrique, micrométrique ou nanométrique.
