PROBLEM TO BE SOLVED: To mount an X-ray detector and a data gathering device in high density.SOLUTION: An X-ray detection chip 12a in which a plurality of detection elements for converting X-rays to electric signals directly or indirectly after tentatively converting them to light are two-dimensionally arrayed, an amplification chip 12b1 for respectively amplifying the electric signals from the detection elements of the X-ray detection chip and an A/D conversion chip 12b2 for converting the output of the amplification chip to digital signals are piled up, successively and electrically connected by a through electrode or the like between them, and mounted on a substrate 12c of ceramic or the like to configure the X-ray detector system 12. Thus, since the X-ray detector and the data gathering device separately configured conventionally are turned into one chip to attain a high definition X-ray detector system, mounting on the X-ray CT apparatus in high density is made possible.COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT【課題】 X線検出器およびデータ収集装置を高密度に実装可能なものとする。【解決手段】 X線を直接的にまたは一旦光に変換した上で間接的に電気信号に変換する複数の検出素子を二次元状に配列したX線検出チップ12aと、このX線検出チップの検出素子からの電気信号をそれぞれ増幅する増幅チップ12b1と、この増幅チップの出力をデジタル信号に変換するA/D変換チップ12b2とを重ねて、その間を順次電気的に貫通電極などで接続したものをセラミックなどの基板12cに載置してX線検出器システム12を構成した。これにより、従来別構成であったX線検出器とデータ収集装置とを、1チップ化して高精細のX線検出器システムとしたので、X線CT装置に高密度に実装が可能となる。【選択図】 図3
