LEE, WON HEEKR,이원희,GU, JIN HOKR,구진호,KIM, JAE YKKR,김재익
申请号：
KR1020140096762
公开号：
KR1020150066997A
申请日:
2014.07.29
申请国别(地区):
KR
年份:
2015
代理人:
摘要：
Provided is a method for manufacturing an ultrasonic probe capable of forming a piezoelectric element in a growth method. According to the present invention, the method for manufacturing an ultrasonic probe comprises: a step of forming a sacrificial layer on a substrate a step of forming a plurality of openings at a distance away from the sacrificial layer a step of forming a piezoelectric part by growing a piezoelectric element inside a plurality of openings respectively and a step of removing the sacrificial layer.COPYRIGHT KIPO 2015초음파 프로브의 제조 방법을 제공한다. 본 초음파 프로브의 제조 방법은, 기판상에 희생층을 형성하는 단계, 희생층에 상호 이격되게 복수 개의 개구를 형성하는 단계, 복수 개의 개구내 각각에 압전 소자를 성장시킴으로써 압전부를 형성하는 단계 및 희생층을 제거하는 단계를 포함한다.
